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敞開式光柵尺在自動化行業(yè)的應(yīng)用

作者: 來源: 日期:2014/8/26 20:21:44 人氣:4218
  工控摘要:敞開式直線光柵尺設(shè)計用于需要高精度測量的機床和系統(tǒng),它消除了滾珠絲杠溫度特性和運動特性導(dǎo)致的誤差,反向誤差。
  
  典型應(yīng)用包括:
  
  半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
  
  電路板組裝機
  
  精密機床
  
  高精度機床
  
  測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
  
  直接驅(qū)動
  
  ?產(chǎn)品系應(yīng)用
  
  LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA400相同.
  
  LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測量基準為DIADUR相位光柵。
  
  LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復(fù)精度高,安裝簡單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF481V可用于10–7bar的真空環(huán)境中(參見其單獨“產(chǎn)品信息”)。
  
  LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運動速度達10m/s的高速運動應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關(guān)。
  
  ?PP雙坐標編碼器的測量基準是一個平面DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測量平面中位置。
  
  機械結(jié)構(gòu)
  
  敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。
下一個:選擇投影儀時要了解的技術(shù)指標
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