Mitutoyo開(kāi)發(fā)出世界上最高測(cè)量精度為（0.3＋L/1000）μm（L為被測(cè)量物體長(zhǎng)度）的非接觸式影像測(cè)量?jī)x（圖）。該公司計(jì)劃將其做為“QuickVision（QV）系列”的最高端機(jī)種“Ultra QV（暫定名）”2000年10月推向市場(chǎng)。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)價(jià)格為3000萬(wàn)日元，預(yù)計(jì)第一年向半導(dǎo)體、平面顯示器以及精密模具制造商等銷(xiāo)售20臺(tái)。另外，該產(chǎn)品還將參加2000年6月14日～16日在橫浜舉行的“納米級(jí)光學(xué)技術(shù)博覽2000（第37屆全日本光學(xué)測(cè)量?jī)x展）”展覽會(huì)。
該產(chǎn)品，將用于高精度3維測(cè)量?jī)x的高剛性靜壓空氣軸承用于各軸的定向器，從而大幅度提高了直線(xiàn)精度。另外，在基準(zhǔn)測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)中，還配備了采用超高精度結(jié)晶玻璃的光學(xué)式線(xiàn)性編碼器，這種超高精度結(jié)晶化玻璃的熱膨張系數(shù)為零，系該公司獨(dú)自開(kāi)發(fā)。另外，在統(tǒng)一了主要結(jié)構(gòu)零部件的材質(zhì)的同時(shí)，還將結(jié)構(gòu)本身按照熱對(duì)象進(jìn)行設(shè)計(jì)，從而減少了溫度變化所帶來(lái)的影響。通過(guò)這些措施實(shí)現(xiàn)了目前世界最高的測(cè)量精度。測(cè)量范圍為X，Y軸350mm，Z軸為150mm，最小顯示量為0.01μm。
